专利详细信息
| 专利号 |
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| 专利标题 | METALLISATION BARRIER BASED ON ALUMINIUM OXIDE |
| 专利权人 | MERCK PATENT GMBH [DE]; |
| 发明人 | KOEHLER INGO [DE];DOLL OLIVER [DE];STOCKUM WERNER [DE];BARTH SEBASTIAN [DE]; |
| 申请号 | EP20120704685 |
| 申请日 | 2012/2/9 |
| 公开日 | 2014/1/15 |
| 优先权号 | |
| IPC | C09D5/00; C23C26/00; H01L31/02; |
| 专利类型 | |
| 法律状态查询 | 查看法律状态 |
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